科普-扫描电镜的电子枪类型

  扫描电子显微镜是一种用于高分辩率微区描摹剖析的大型精密仪器。具有景深大、分辩率比较高, 成像直观、立体感强、扩大倍数规模宽等特色。扫描电子显微镜由电子光学镜筒、样品室、真空体系、检测器和成像体系组成。电子枪的作用是发射出作为电镜照明的电子源，是整台电镜最重要的部件，其功能的好坏决议着电镜图画质量的凹凸。本篇文章咱们就来介绍一下电子枪的品种。

  电子枪的必要特性是亮度要高、电子能量分布 (Energy Spread) 要小，现在常用的品种计有三种，钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射 (Field Emission)，不同的灯丝在电子源巨细、电流量、电流安稳度及电子源寿数等均有差异。场发射电子枪所选用的阴极资料有必要是高强度资料，以能接受高电场所加诸在阴极顶级的高机械应力，钨因高强度而成为较佳的阴极资料。

  长处：对真空度要求不高，它能够在比较来说较低的线Pa）下作业，电子光学和真空结构体系都最简略，全体造价较低。

  缺陷：总发射束流虽大，但束流密度小，发射功率低，信噪比较差，比较难满意拍照超高分辩图画的需求，且化学安稳性较差，寿数短。

  6：六硼化物具有十分杰出的金属导电性，其导电性接近于铅的电阻率。因为金属原子被结合严密的硼原子围住，因而六硼化物的化学功能较为安稳，且LaB6是现在得到的硼化物阴极种最老练和遍及的一种阴极发射体。

  长处：因为温度较低，阴极蒸腾率下降，因而与寿数短的发夹形钨阴极比较，LaB6阴极的作业寿数约为钨阴极的10倍。且亮度等功能比钨阴极电子枪要好得多。

  能够运用高亮度的场发射电子枪作为电子源的阴极以进步束流密度，来提高亮度。肖特基热场发射电子枪的加热电流通常在2.0-2.5A之间，钨针尖包裹氧化锆的场发射电子枪，作业时分的温度高，便于氧化锆消融在钨标明发生覆盖层，相同的发射电场下发射电流比冷场发射的纯钨针尖要高出许多，所以具有亮度高，安稳性高，束斑和色散较小等特色，是归纳功能最好的电子枪，成分高分辩的首选。

  长处：亮度比LaB6高100-1000倍，加热温度低，电子源尺度小，亮度高。

  缺陷：运用前需加热针尖，需求的真空度更高，不适用于WDS,CL,EBIC等勘探。

  聚束科技高通量（场发射）扫描电子显微镜NavigatorSEM-100+装备新式电子枪，电子束落点能量规模可达30keV，包括绝大多数扫描电镜落点能量需求规模。NavigatorSEM-100+分辩率可达1.0nm (15keV下),较大的进步了产品分辩率。且在确保1-3kV低加快电压下可获得1.5nm高分辩率的一起，仍能坚持1‰以下的低图画畸变。